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新颖的数字传感器——石英晶体温度传感器

2020-11-17 15:56:09

石英晶体温度传感器是一种新型的高准确度、高稳定的、高可靠的、低功耗的数字传感器,它具有自主知识产权(发明zhuanli申请号是201910023542.3)。与常规的铂电阻传感器完全不同,其工作机制不是利用分子热运动产生的“电阻”效应,而是利用“谐振”特性效应。因此其灵敏度高,甚至在超低温领域(-269℃附近)灵敏度仍然很高,并且稳定度佳,抗干扰能力强。这是目前的温度传感器无法比拟的,正如俄国学者马洛夫指出的,“石英晶体温度传感器的灵敏度大大高于绝大多数现有温度计,其中包括铂电阻温度计。”

日本的石英晶体专家岡野先生指出:“如果说半导体集成电路是‘工业的粮食’,那么石英晶体器件就是‘工业的食盐’。”由此可知,石英晶体器件和石英晶体传感器是多么重要啊!

石英晶体温度传感器

石英晶体温度传感器的主要特点如下:

1.其输出信号是频率,不必采用A/D变换就可直接输入计算机;

2.温度分辨率好,可高达0.0001℃~0.000001,是目前国际上分辨率高的温度传感器之一。

3.准确度可高达0.01℃(在测温范围内的误差),现在世界上准确度高的石英晶体温度传感器的准确度已高达0.005℃,通常,比工业铂电阻温度计高20~100倍以上;

4.重复性高,可高达0.001℃~0.0001℃,比通用的工业铂电阻温度计高100~1000倍以上。这是由石英晶体固有的优异材料特性以及目前高精密微机械加工技术决定的。

5.长期稳定性佳,可达0.01℃~0.0001℃/年。在12年内的测温精度的漂移仍可达0.002℃~0.01℃。这是由石英晶体本征谐振频率很稳定,使得传感器耐老化特性优异,是绝大多数传感器无法比拟的。

6.没有传统传感器(例如铂电阻)难以克服的模拟电路带来的温漂(环境温度变化引起的准确度漂移,例如铂电阻温度计的A/D变换器和放大器等产生的温漂))、时漂。实验表明,石英晶体温度传感器的零点漂移能够优于0.01℃。当外围电路工作环境在+5℃~+35℃变化时,其测温准确度仅变化0.005℃,好的样品可以优于0.002℃。其原因是石英晶体与热电阻的铂、铜等金属材料完全不同:石英晶体抗塑性形变的能力极佳,而塑性形变是产生时漂和迟滞误差的主要根源。

7.温度测量探头的体积小,内部又充填了导热特性优良的氦气,因此响应速度快。

8.BWS007-1型石英传感器是一种数字传感器,其Q值(品质因素)很高,与其配合的又是数字电路,传输的是数字信号,因此抗干扰能力强,此外,还不能出现铂电阻等模拟传感器的难题—准确度易受导线电阻和接触电阻变化的影响。连接电缆种类的变更、电缆加长与缩短以及电缆特性的老化、接触电阻的改变等,都不影响测量的准确度。实验表明,当负载电阻从1KΩ~10MΩ,负载电容从50~150μF时,其准确度仅下降0.005℃。

9.耐核辐射能力佳,抗磁场可高达5~8T,并且能够承受钴-60的γ源照射试验,例如,可承受剂量为0.5*104rad/h,照射时间为88h,总剂量达4.4*105rad/h的核辐照。

10.因为其输出信号是频率,所以温度仪表的特性几乎不受放大器的漂移和电源电压稳定度的影响。实验表明,电源电压变化±10%时,该测温仪表的准确度仅变化±0.02℃。因此,利用普通稳压电源就可以获得高精密、高稳定特性。

我公司经过技术创新,已经研制成功单闭端谐振式石英晶体温度传感器、柱状厚度切变模谐振式石英晶体温度传感器、双闭端谐振式石英音叉压力传感器和条状厚度切变模谐振式石英晶体压力传感器等多种频率输出的数字传感器,并且经过行二次开发,已经研制成功多种型号的石英晶体温度测量仪表和控制系统、高精度石英晶体气体压力计等。它涵盖了实验室、工业部门和野外现场、井下、海底、水下、气象、航空、航天以及常规武器等领域的某些测量仪表和控制系统。


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